内部連結された蜂の巣状構造は、組織工学、細胞培養、流体拡散、材料の熱拡散、表面科学などの分野で非常に重要な応用を持っています。異方性と等方性のエッチングを組み合わせた二段階のエッチング法を採用し、エッチングパラメータ（ガス流量、放出サイクル、エッチングパワー、内部圧力、シリコン材料のエッチング温度）を制御することで、約10 mm²の面積上で2.2×10⁵～9.5×10⁵の範囲内で異なる間隔を持つシリコン材料の内部連結蜂の巣構造を得ました。誘導結合プラズマ（ICP）を用いたBoschエッチング法は異方性シリコンエッチングに利用され、フッ素炭素プラズマ下で表面にポリマーを堆積させることで側壁のエッチング効率を低減し、構造が高いアスペクト比の垂直側壁を持つようにしています。保護ガスプラズマを適用しない条件下で、ICPはガス等方性エッチング装置として機能でき、ICPに基づく等方性エッチング能力は異方性エッチングに比べてシリコンエッチング速度が高く、制御性が良好で、エッチング選択性が高いという利点があります。この方法はシリコン基板材料上の内部連結蜂の巣構造の作製を実現でき、蜂の巣構造の間隔を正確に制御でき、均一性に優れ、大面積を短時間で作製できるという、工程が簡単で作製周期が短いという利点があります。

等方性エッチング;蜂の巣構造;内部連結;エッチング速度