既存のレンズ中心ズレ測定方法における測定精度の低さやレンズ姿勢調整の人的干渉の大きさの問題に対し、差動共焦点レンズ中心ズレ自動測定方法を提案する。本方法は差動共焦点固定焦点技術を用い、差動共焦軸方向光強度応答曲線のゼロ交差点が被測定レンズの特徴点に正確に対応するという特性に基づき、被測定レンズのキャットアイ点および共焦点を精密に位置決めする。高精度エアベアリング回転軸で被測定レンズを回転させ、変位センサーと円形光格子で被測定レンズの位置情報を記録し、5次元姿勢自動調整機構と組み合わせて被測定レンズ姿勢の高精度補正を実現し、姿勢ズレを除去して測定精度を向上させる。最終的にレーザー差動共焦点レンズ中心ズレ自動測定システムを構築し、レンズ中心ズレの高精度自動測定を実現した。実験結果はレンズ中心ズレの測定精度が0.41％に達し、測定再現性は100 nm以内で優れていることを示した。現行の一回限りの手動測定と比較して、本方法は測定再現性が良好で、ランダム誤差が小さく、測定精度が高く、高精度レンズ中心ズレ自動測定の技術的手段を提供する。

レーザー測定;差動共焦点;中心ズレ;自動調整;自動測定;姿勢ズレ