摘要
光学レンズの画像品質を向上させ、迷光の影響を除去するため、K9ガラスを基材として可視光波長帯域で平均反射率0.1%未満の反射防止膜を設計した。電子ビームイオン支援蒸着法を採用し、薄膜の感度が高く、スペクトル変動が大きい問題に対して、膜厚誤差を減らすために安定した膜厚制御の数学モデルを構築し、製膜精度と成膜安定性を向上させた。反射防止膜に対して環状試験を行い、工程パラメータを最適化し、反射防止膜の硬度および耐煮沸性能の向上に重点を置いた。実験結果は、最終的に製造された反射防止膜が420〜680 nm波長範囲で平均反射率約0.044%、最高反射率0.0712%であり、MgF2を外層とする反射防止膜の機械的性質および化学的安定性の問題を克服し、低損失、安定性、高強度、再現性のある製造要求を満たしていることを示している。
关键词
光学薄膜;電子ビーム蒸着;誤差制御;機械的性能;可視光;反射率
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