全口径環状研磨は大口径平面光学部品の加工における重要技術の一つであり、そのボトルネックは部品の面形状の効率的かつ高精度な制御である。部品の面形状の影響因子と制御方法を研究し、決定論的制御レベルを向上させた。面形誤差に影響を与える運動速度、研磨盤表面形状誤差および鈍化状態などの重要なプロセス因子に着目し、運動軌跡の有効弧長に基づく環状研磨運動学モデルを構築し、研磨盤表面のスロット形状が面形誤差に与える影響を明らかにした。変位センサーを用いてらせん状の経路で研磨盤表面を走査し、補間アルゴリズムによって形状誤差を生成する方法を提案し、小型工具を用いた部分口径補正法を確立し、研磨盤形状誤差の現場定量補正を実現した。研磨盤表面の鈍化状態の監視方法を提案し、鈍化状態が面形誤差に与える影響を研究した。結果は以下の通りである：研磨盤表面に環状スロットを採用した場合、部品表面には環状バンド特性が現れやすく、放射状スロット、方形スロット、らせんスロットを用いた場合には部品表面は比較的滑らかである。現場における定量的な研磨盤形状誤差の検出と補正により、部品の面形精度が大幅に向上する。研磨盤表面が徐々に鈍化するにつれて部品の面形は徐々に悪化する。開発中の直径5 mの大口径環状研磨機で800 mm×400 mm×100 mmの平面部品の面形PV値はλ/6（λ=632.8 nm）より優れており、部品の面形制御効率と精度が向上した。

光学加工;全口径環状研磨;面形誤差;影響規則;制御方法