摘要
ギア歯面形状のレーザー干渉測定では、様々なノイズの影響を受けやすく、取得した包絡位相図に位相品質の悪い領域が存在し、これらの領域を通る位相アンラッピング経路はエラーを引き起こし、測定精度を低下させる。これに対して、干渉縞画像の確率分布特性に基づき、本稿ではTsallis相対エントロピーによる品質評価に基づく包絡位相補正法を提案する。本手法はまずしきい値処理後の画像をガウス分布でフィッティングし、次にTsallis相対エントロピーで位相品質を評価し、最後に品質の低い領域を補正して位相のアンラッピング品質を向上させる。本手法の有効性を検証するために対照実験を設計し、実験結果から本手法が位相残差点を40%削減し、位相品質を効果的に向上させることを示した。本手法は簡便で高精度であり、他の位相シフト光学分野にも適用可能である。
关键词
干渉測定;包絡位相図;Tsallis相対エントロピー;画像補正;位相アンラッピング
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