アクティブ磁気軸受における台座の動きによってローター振動が増大するのを抑制するため、慣性運動に基づくフィードフォワード制御手法を設計および実装した。まず、台座が動く磁気軸受システムに対して、台座運動の五自由度磁気軸受ロータ力学モデルを構築し、次に台座が小振幅で複雑な運動を行う際のロータに作用する撹乱力の力学を解析し、適応アルゴリズムに基づく慣性フィードフォワード法を提案した。最後に、構築した実験プラットフォームを用いて、異なる撹乱下でフィードフォワード制御のオン・オフによるロータの応答を実験的に検討した。実験結果は、適応フィードフォワードコントローラを有効化すると、磁気軸受ロータの変位が80%以上減少することを示した。設計した適応フィードフォワード制御法は、磁気浮上システムの台座撹乱がロータ振動に与える影響を効果的に抑制し、磁気軸受ロータの運転精度を大幅に向上させ、設計したシステムは小型の慣性マイクロ電気機械測定ユニットを１つ追加するだけで、実際の工学応用の要求を満たす。

アクティブ磁気軸受;動基台補償;適応アルゴリズム;フィードフォワードコントローラ;慣性運動;振動抑制