摘要
機載探査システムの大視野光学イメージングの要求に応じて、大視野光学イメージングシステムの光学設計、自由曲面光学素子の超精密加工、形状位相誤差の同期検出、およびシステムの統合とイメージング実験研究を行った。まず、視野拡張法を用いて大視野自由曲面オフアキシャル反射光学系を設計した。次に、アルミニウム合金自由曲面反射鏡のナノ精度加工および高周波抑制技術の探求を行い、計算ホログラム素子に基づく自由曲面形状高精度検出を実現した。最後に、光学系の組立統合およびイメージング実験を行った。結果は、システムの視野角が30°×5°で、全視野光学伝達関数値が0.7以上で回折限界に近く、最大画素二乗平均半径が2.075 μm、自由曲面光学素子の面形精度二乗平均平方根（RMS）値が20 nm以上、位置精度が1 μm以下であり、組立統合後、大視野高分解能のシーン使用要件を満たし、安定性、信頼性、迅速な製造特性を備えていることを示している。
关键词
光学超精密加工;自由曲面;計算ホログラム補償検出;イメージングシステム
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