光ファイバマイクロキャビティ塩分センサーの温度交差感度問題に対処するため、セラミックインサートとジルコニアスリーブを組み合わせた開放型塩水キャビティを設計した。ジルコニアの正の熱膨張係数を利用して塩水の負の熱光係数を相殺し、温度が塩分測定に及ぼす影響を補償する。塩分検出感度をさらに向上させるために、開放型塩水キャビティと密閉型空気キャビティを並列接続し、両キャビティの自由スペクトル範囲を精密に制御することで干渉スペクトルにバーニア効果を発生させ、バーニア現象を利用して塩分感度の増幅を実現した。実験結果は、塩水キャビティの温度感度がわずか0.025 nm/℃であり、塩水の熱光係数による温度感度（-0.35 nm/℃）よりはるかに低いことを示している。塩分0～3%の範囲で、並列二重キャビティの塩分感度は0.1808 nm/%に達し、単一の塩水キャビティの感度よりも10.5倍高い。なお、このセンサーは製造が容易で感度が高く、性能が安定しているという利点があり、理論的には温度の完全な補償が可能である。

ファブリ・ペロー干渉計;光ファイバーセンサー;塩分;温度補償