極紫外多層膜反射鏡は、極紫外露光、天体物理学、プラズマ診断、アト秒物理学、自由電子レーザーなど多くの科学技術分野で重要な応用があります。多層膜により、極紫外波長域の鏡において正入射条件で高い反射率と狭い帯域幅を実現可能にします。多層膜反射鏡は極紫外イメージングおよび分光応用の重要なデバイスであり、多層膜からなる極紫外イメージングシステムは複数の太陽単一スペクトル線のイメージング観測に成功しています。本稿では、40～90 nm波長域で最も有望な多層膜の研究進展を概説します。まず、多層膜の基本原理を簡単に紹介し、40～90 nm波長域における材料の光学定数の測定を説明し、Mg系、Sc系およびランタノイド系材料ならびにその他の材料で構成される多層膜の進展をまとめ、現在達成された最高の反射率および帯域幅を示し、多層膜の時間的安定性を明らかにし、40～90 nm波長域の多層膜作製の技術的指針を提供します。

光学薄膜;極紫外;多層膜;狭帯域;高反射