摘要
従来の球面形状干渉測定における被測定物の姿勢を手動で調整する際の精度の低さと速度の遅さの問題に対し、レーザー共焦干渉形状の高速高精度自動測定方法を提案した。本方法は共焦精密定焦技術により被測定物の共焦位置を高精度な軸方向位置決めを実現し、五次元自動調整架台により被測定物の姿勢調整を行い、高精度な横方向位置決めを実現した。さらにZernikeフィッティングにより被測定物を精密調整し、ピントずれ誤差や傾き誤差を低減して干渉形状のゼロ縞調整を実現した。最終的にレーザー共焦干渉形状の自動測定を達成した。レーザー共焦干渉形状測定システムを構築し、実験により本方法の形状測定結果はZygo干渉計の測定結果と0.0006λの差があり、繰返し測定精度は0.0019λに達し、平均単一干渉形状測定時間は16.5秒であり、手動でゼロ縞調整した場合と比較して測定効率は1.56倍向上した。本方法は干渉形状の高速高精度測定の有効な手段を提供する。
关键词
レーザー共焦測定;位相シフト干渉;共焦法;姿勢調整;Zernikeフィッティング;自動測定
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