ガラス微小プリズムは耐食性、高温耐性、長寿命などの利点を持つが、ガラス上への微小プリズムアレイの加工は依然として難題である。そこで、界面エッチングが主導する準異方性湿式エッチング法が提案され、高品質な微小プリズムアレイデバイスが作製された。セルオートマトンに界面特性の調整を導入し、界面エッチングと等方性側面エッチングの競合動作をシミュレーションし、エッチング断面形状の変化規則を探求し、準異方性湿式エッチングモデルを構築した。この指導の下、断面が台形状の微細構造を加工し、間隔、形状、寸法が調整可能な微小プリズムアレイを設計・作製し、再現性は98％に達した。微小プリズムアレイのLEDランプの拡散効果を検証し、輝度は4.6倍に向上した。本論文は従来のガラス湿式エッチングの等方性という固有認識を変え、革新的に準異方性エッチングプロセスを開発し、ガラス微小プリズムアレイなど関連デバイスに効率的で低コストな製造方法を提供した。

微小プリズム;湿式エッチング;ほうけい酸ガラス;界面エッチング;準異方性エッチング