磁気流変化研磨は、除去効率が安定しており、サブサーフェスダメージのない超精密加工技術である。しかし、研磨過程で磁気流変化液の水分損失は研磨工具の特性を変化させ、除去関数の安定性に影響を与える。既存の水分制御戦略は、磁気流変化液の循環システムの大きな遅延や時変摂動の影響を受け、水分含有量に周期的な変動をもたらし、除去関数が周期的に変化し、加工品質と精度に影響を与える。本研究では、磁気流変化液循環システムの伝達関数モデルを構築し、システム特性の解析を行い、これに基づいて全形式動的線形化に基づく無モデル適応制御アルゴリズムを設計した。本アルゴリズムは非線形システムのパラメータ適応制御を実現でき、時変摂動や遅延による水分変動を効果的に抑制し、研磨過程における水分含有量の安定制御のための簡単かつ効果的で適用性の高い制御戦略を提供する。実験結果は、FFDL-MFAC制御アルゴリズムを採用した場合、磁気流変化液の水分変動のピーク・バレー値（Peak-valley Value、PV）がわずか0.06%であり、PID使用時に比べて40%低減し、絶対誤差の積分値（Integral value of Absolute Error、IAE）は58.1%削減されたことを示した。これにより、研磨過程における磁気流変化液の水分含有量の安定性が効果的に向上した。

磁気流変化研磨;水分含有量制御;システムモデリング;パラメータ同定;無モデル適応