高精度平面干渉計システムの評価基準において、機器伝達関数（Instrument Transfer Function、ITF）は干渉計の性能を評価する重要な指標となっており、光学系が測定形状の異なる空間周波数を解像する能力を正確に反映している。しかしながら、ITF試験の実験環境には厳しい要件があり、干渉計システムのノイズは試験結果に大きな歪みを引き起こす可能性がある。干渉計システムの性能を正確に表現するために、シミュレーション解析と実験を組み合わせ、異なるレベルのガウスランダムノイズをシミュレーション干渉図に導入し、ノイズがITF試験結果に与える影響を探究した。試験誤差の評価指標であるITF_RMS値を提案し、干渉計システムのノイズ許容度を解析し、評価指標に基づいていくつかのITF試験最適化手法を提案し、実験システムを構築して解析と検証を行った。実験結果は、最適化されていないITF試験プロセスにおいて、構築された干渉計システムのITF_RMS値が0.1112であり、最適化後は同じノイズレベルでそれぞれ0.0693、0.0367、0.0579に低減したことを示している。この結果は最適化案の実現可能性を証明し、本案は干渉計システムのITF試験過程におけるノイズ干渉の影響を効果的に抑制できることを示している。

干渉測定; フィゾー干渉計; 機器伝達関数; ノイズ許容度