摘要
非同軸並列カラー共焦点測定システムにおいて、被測定物の表面が傾斜している場合に発生する測定誤差に対して、誤差補償方法を提案した。本方法は、2つの標準ゲージブロックで構成された段差を被測定物として実験を行い、まず試料を横方向に移動させ、取得した表面高さデータを直線近似して傾斜面の線形式を求める。次に、得られた傾斜面直線の傾きと傾斜角との関係を用いて表面の傾斜角を得て、三角関数の関係から各データ点の誤差を計算し、最終的に補償により表面傾斜に起因するデータの誤差を除去する。カラーカメラが反射されたスペクトル信号を捕らえられるように被測定物の傾斜角を継続的に調整し、被測定物表面の傾斜角を［-4°、4°］に設定した。この範囲内で表面の異なる傾斜角における誤差補償実験を行い、傾斜角4°を例にとると、補償後の段差高さ測定平均値は101.92 μm、相対誤差は3.00％であり、システムの測定精度はマイクロメートルオーダーに達する。
关键词
光学測定;カラー共焦測定;傾斜角;高さ測定;誤差補償
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