マイクロアレイシャッターは多ビーム電子線露光システムの重要な部品であり、多数の電子線のオン/オフを制御し、複雑なパターンの高速露光を実現します。3×3のマイクロアレイシャッターを設計・製作し、多ビーム電子線の偏向実験研究を行いました。アレイシャッターの構造を最適化し、MEMS加工技術に基づいてアレイシャッターを成功裏に作製しました。アレイシャッターの制御要件に基づき、個別制御可能なアレイシャッターコントローラを設計しました。コントローラをアレイシャッターに接続し、コントローラの偏向速度と機能の完全性を検証しました。最後に、多ビーム電子線試験プラットフォームでアレイシャッターの偏向実験を行い、クロストークが電子線の偏向に与える影響を研究しました。実験結果は、アレイシャッターコントローラの偏向速度が43.5 MHzに達し、設計値の10 MHzを上回り、アレイシャッターは個別に電子線のオン・オフを成功裏に実現し、シャッターの偏向距離は25〜30 μmの範囲で計算値の43.29 μmより小さく、クロストークの程度はすべて3％未満であることを示しました。本アレイシャッターはすでに多ビーム電子線のオン/オフ制御機能を備えていますが、偏向精度、設計および加工技術などの面でさらなる最適化と改善が必要です。

電子線露光;アレイシャッター;多ビーム電子線;クロストーク;偏向速度