摘要
ウェーハの反り検査において、外力によって発生する追加変形の除去や定量化が困難な問題に対し、高速かつ高精度のウェーハ反り工業検査向けに改良された垂直自動クランプ方式を提案した。本方式は、正確な拘束と簡潔なクランプ工程などの利点を有する。理論解析および有限要素解析とウェーハ反りの特性化手法を組み合わせ、ウェーハのクランプ設計解析手法を提案し、異なる主要設計パラメータとウェーハ付加反りとの関係を得た。垂直クランプ機構の主要パラメータの順方向設計を実現し、設計結果に基づく繰り返しクランプ検証実験を実施した。解析および実験結果から、ウェーハ姿勢の傾斜角が0.02°未満、底部固定拘束位置の斜面角度が35°±1°、保持力が2N以下、かつ垂直方向との保持力角度が2°以下の場合、300 mm単結晶シリコンウェーハの付加反り曲率が70 nm以下、反りは1,000 nm以下であることが保証できることを示した。本クランプ方式は精確な拘束と簡潔なクランプ工程の利点を持ち、300 mmウェーハの高精度幾何形状測定装置および大形光学部品のクランプ開発に一定の指針を提供する。
关键词
ウェーハ反り測定;垂直クランプ;付加変形;有限要素解析
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