格子干渉測定は、高解像度、高耐干渉性、多自由度拡張の利点を有する重要な精密ナノ測定技術であり、先進ノードの露光装置や超精密工作機械などの分野で重要な役割を果たしています。格子干渉、レーザー干渉、時格子測定技術を比較して、それぞれの適用場面と現在の性能パラメーターを明確にし、格子干渉測定におけるゼロ差および外差の二つの技術原理を説明しました。これに基づき、国内外の格子干渉計の発展動向を分析し、代表的な機器メーカーや近年のナノおよび亜ナノ精度の単一・多自由度システムに関する研究開発状況を含みます。さらに、格子干渉測定の精度と誤差を分析・議論し、誤差の起源、分類およびそれに対する補償方法を紹介しました。最後に、格子干渉計の発展現状と将来展望を議論し、格子干渉計システムの開発と最適化の参考となることを期待しています。

精密測定;ナノ測定;格子干渉計;多自由度;誤差補償