従来の白色光干渉測定方法は振動干渉に非常に敏感であり、振動干渉は走査ステップ誤差を引き起こし、白色光干渉の測定精度を低下させる。振動干渉の影響を抑制するために、三点反正弦の白色光干渉測定アルゴリズムを提案する。三点反正弦法は干渉図列の隣接する3枚ずつを1グループとし、走査中の干渉縞の連続移動特性を利用して各グループの有効縞領域から位相ずれを計算し、各干渉図の実際の走査ステップを得る。計算された実際の走査ステップを基に、不等間隔ステップの変調度と位相の最小二乗計算手法を構築し、表面高さを再構成した。ステップ計算に3枚の干渉図のみを用いるため、三点反正弦法は周波数応答幅が広く、急激かつ大きな走査ステップ誤差を検出可能である。シミュレーションおよび実験により、振動干渉下でも三点反正弦法は最大0.5%の測定精度（段差高さ10 μm）を達成し、多様な構成の表面形状測定に適していることが確認された。理論解析および実験から、三点反正弦法は様々な形式の走査ステップ誤差の影響を抑制可能であり、広帯域の振動干渉下における白色光干渉測定に適用できることが示された。

表面形状測定;白色光干渉測定;粗さ;振動