垂直度誤差を測定する一般的な方法には実物測定器法、体積測定法、CCD測定法、平面格子測定法、レーザートラッカー測定法、レーザー干渉計測定法などがあり、これらの方法には操作が複雑であること、使用コストが高いこと、オンライン測定が不可能であることなどの欠点が共通して存在する。そこで、レーザー干渉計の原理に基づく多軸運動プラットフォームの垂直度オンライン測定法を提案し、レーザー、五角分光プリズム、五角プリズム、直線度干渉鏡、直線度反射鏡などの部品を用いて多軸レーザー干渉垂直度測定装置を構築した。光路設計により、本装置は被測定多軸運動プラットフォーム上に設置可能であり、高効率・高精度な垂直度オンライン測定を実現する。最後に、花崗岩直角定規による垂直度測定法との精度比較試験を実施した。試験結果は偏差1.4″、正規化偏差E_n<1であり、理想的な結果を示し、本手法の有効性を証明した。

計測学;レーザー干渉計;垂直度;多軸