コリメートビームが空気中を伝播する際に、温度、湿度、圧力のランダムな変動などの空気のランダムな撹乱の影響を受け、レーザー直線測定基準にランダムな揺れが生じ、それがレーザーコリメーション測定の安定性と精度に影響を与える。レーザーコリメーション信号のフィルタリングの観点から、経験的モード分解（EMD）と最小二乗（LS）フィッティングを組み合わせた空気のランダム撹乱影響抑制法を提案した。空気のランダム撹乱に起因する干渉信号を除去するために、レーザーコリメーション信号の分解、再構成および補正の信号処理スキームを構築した。異なる条件下でレーザー直線基準に対する空気撹乱影響抑制実験を実施し、異なる方法によるレーザーコリメーション信号処理効果を比較した。実験結果は、提案法がレーザードリフト補償後のレーザーコリメーション信号処理において、水平方向および垂直方向の変動の標準偏差をそれぞれ0.01 μmおよび0.02 μmに低減し、レーザーコリメーション測定における空気のランダム撹乱が直線測定基準の安定性に与える影響の問題を効果的に解決することを示している。

レーザーコリメーション;直線基準;空気撹乱;経験的モード分解