接触式および白色光干渉測頭複合測定の座標統一およびデータ融合

CHENG Zhenying ,  

XU Dongjian ,  

ZHANG Chengyao ,  

LIU Yunlong ,  

LI Ruijun ,  

摘要

複合測定における2つの測頭の空間座標系の不統一という問題に対して、キャリブレータが提供する基準点に基づき単位四元数法を組み合わせて空間変換行列を求める座標統一方法を提案し、座標統一の効果を二乗平均平方根誤差(RMSE)で評価した。座標統一のために安定で信頼性のある基準点を提供する新型キャリブレータを設計製作し、基準点精度と座標統一精度の関係モデルを構築した。2つの測頭の測定データに対して、空間誤差楕円体探索戦略と加重最小二乗法を組み合わせたデータ融合方法を提案した。実験結果により、複合測定の座標統一位置合わせ精度は1.889 μmに達し、提案したデータ融合方法は従来の加重最小二乗法と比べて相対誤差を16%低減し、再現性精度を38%向上させ、複合測定における高精度座標統一と安定かつ精密なデータ融合を実現し、装置の測定能力を向上させた。

关键词

接触式測頭;白色光干渉測頭;複合測定;座標統一;データ融合

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