既存のMini/Micro LED大量転送技術における転送効率および自己組立転送歩留まりが一般的に低い問題に対して、「永久磁石＋電磁石」の磁場結合による新しい流磁大量転送用位置決め磁針を提案した。磁針の上面でのチップの正確な把持を実現するために、電磁的なバイアスコイルを設計し、磁針上面の磁力を精密に制御した。磁路解析法を用いて磁針構造と先端の数学モデルを構築し、磁針上面の気隙磁束密度に影響を与える構造パラメータを取得し、有限要素法を利用して構造パラメータを最適設計した。最適化後、磁針上面の最大磁束密度B_maxは当初の57 mTから68 mTに19.2％向上し、ピークと谷の変化率δは50.8％から70.5％に上昇し、両指標ともに初期案より優れている。最適化結果を基に永久磁石バイアス位置決め磁針装置を開発し、気隙磁束密度測定およびチップ転送効果試験を実施した。結果は、最適化後の磁針上面の磁束密度B_maxが60 mT、ピークと谷の変化率δが66.6％であり、1分以内に数千個のチップの吸着固定が可能であり、大量転送におけるチップの正確な把持要求を満たし、流体と組み合わせてチップの大量転送プロセスを実現し、自己組立大量転送技術の効率を向上させた。

Mini/Micro LED;大量転送;永久磁石バイアス;位置決め磁針;最適設計