ウェーハ高速撮影システムの露光制御は、画像品質に著しい影響を及ぼします。従来の空間領域評価に基づく露光制御アルゴリズムは計算が複雑であり、粒子特性の違いを無視してしまい、露光の不均一を引き起こしやすいです。そこで、本研究では画像分割周波数領域評価に基づく露光制御方法を提案します。本方法は、ブロック単位の二重閾値分割アルゴリズムを用いて粒子画像の特徴領域を適応的に分割し、高周波通過フィルターおよびガウスピラミッドアルゴリズムと組み合わせて、周波数領域内で高速に画像の高周波情報を抽出し、領域加重評価関数を設計して露光効果を総合的に評価します。最大露光時間内で最適な露光パラメータの高速探索を実現するために、決定木に基づく可変ステップ幅探索アルゴリズムを提案しました。比較実験の結果、この探索アルゴリズムは精度を保証しつつ、最良画像の平均品質指標を1.34％向上させ、露光パラメータ調整時間を61.3％短縮し、ウェーハ高速撮影過程での画像品質を確保しました。

露光制御;周波数領域解析;画像評価関数;可変ステップ探索;決定木