力バランス（Force to Rebalance、FTR）検出モードに基づくMEMSレートジャイロにおける位相誤差がジャイロの静的および動的性能に与える影響規則を明確にするため、位相誤差を含むFTRレート制御ループモデルを構築し、異なる位相誤差が動的および静的性能に与える影響を分析した。まず、FTRレートモードを採用したジャイロの基本原理を紹介し、位相誤差が駆動モードに与える影響を簡単に分析した。次に、フィードバック経路および前向き経路の位相誤差を含むFTRレート制御ループモデルを提案し、該当モデルの等価変換を行った。その後、前述のモデルに基づき、異なるタイプの位相誤差がジャイロの動的および静的性能に与える影響を分析した。最後に、対応する実験検証を行った。実験結果は、フィードバック経路における位相誤差の2時間測定値の安定性が0.0949であり、この誤差はスケールファクターのみを変化させることを示した。前向き経路の位相誤差は温度感受項であり、補償前後のオフセット値およびオフセットドリフト値はそれぞれ4.8倍および2.9倍縮小し、オフセット不安定性および角度ランダムウォークはそれぞれ0.8倍および0.9倍向上した。フィードバック経路の位相誤差はスケーリングにより取得し補償可能であり、この誤差はスケールファクターの数値のみ影響し、オフセットおよび帯域幅性能には影響を与えない。前向き経路の位相誤差は静的性能を著しく制約するが、常温状態では動的性能に影響を与えない。

MEMSレートジャイロ;力バランス制御;位相誤差;オフセット性能;スケールファクター;帯域幅