マイケルソン干渉計の原理に基づく、0.8～2.4 μm波長帯の近赤外超広帯域単一周波数ファイバーレーザ向け小型高精度高速波長測定技術を提案する。本技術に関わる光学部品はすべて0.8～2.4 μm近赤外波長帯に適用可能であり、サーボモータ平行移動台の最大行程は50 mm、二重折り返し光路設計により移動台の行程の4倍の光路差を生成できる。高速収集カードとLabVIEW上位機による信号の収集・処理により、本技術の小型化、高精度および高速測定を実現した。サンプル数等価解像度法を提案し、波長分解能の設計を簡素化、波長分解能は信号サンプル数との直接的な数値対応関係のみを持ち、その他のパラメータはサンプル数を基準に自由に調整できることを確認した。0.8、1.06、1.55、1.94、および2.05 μmの5種の代表的波長帯単一周波数レーザを選択し、波長測定実験を行い、市販の高精度波長計測測定結果と比較した。実験結果は、サンプル数等価解像度法による単回測定に1.5秒を要し、測定精度はそれぞれ±1.4、±1.1、±1.2、±1.2および±1.3 pmであり、波長分解能は理論値0.2×10⁻⁶に適合したことを示した。この小型化波長測定技術により、0.8～2.4 μm全波長帯の近赤外光源の高精度かつ高速な測定が可能になる。

波長測定;マイケルソン干渉計;近赤外;超広帯域スペクトル範囲