圧電位置決めプラットフォームの負荷変動は、その迅速な位置決めの精度を著しく制限しています。これに対処するため、負荷変動を外部干渉と見なし、ロバスト干渉観測器制御戦略を提案しました。まず、MPIヒステリシス逆モデルの線形化に基づき、実験データにより圧電位置決めプラットフォームの線形動特性を識別しました。次に、システム識別誤差をモデルの不確かさとし、周波数領域においてより保守的な上限を構築しました。その後、モデル不確実性および負荷擾乱がシステムの安定性と性能に与える影響を考慮し、μ総合に基づくロバスト干渉観測器を設計しました。最後に、実験結果は提案手法の耐干渉帯域幅が114Hzであり、従来のDOB法に比べて109%、H∞DOBに比べて86%向上していることを示しました。70Hzの正弦軌跡追従において、提案手法は有負荷および無負荷状態における相対誤差の平均変化が0.0013であり、従来のDOB法に比べて91.1%、H∞DOBに比べて77.2%低減しており、提案手法の有効性と優越性を実証しています。

圧電位置決めプラットフォーム;負荷摂動;モデル不確実性;μ総合;干渉観測器