光場型時格子空間変調関数特性分析に基づく補助組み立て調整システムの研究

JIN Chongyu ,  

FU Min ,  

DENG Jingyue ,  

GOU Li ,  

RAN Maoming ,  

摘要

変位センサーの組み立て精度はセンサーの測定精度を直接決定し、補助調整システムは正確な組み立てを実現するための鍵となる。本論文は光場型時格子構造の特徴と測定原理に基づき、出力信号の空間変調関数と組み立ての関係を分析し、センサーの出力測定信号を取り付け指標とした補助組み立て調整システムを提案する。光場型時格子センサーの測定原理に基づき、実際の組み立て構造と結合して、動固定尺の取り付け姿勢が測定誤差に及ぼす影響を研究し、ローリング角の較正を取り付け姿勢較正の主要目標と定めた。ローリング角と測定信号に関連する数学モデルを構築し、該当関数モデルに基づき、元の測定信号を利用して較正指標を得る補助組み立て調整システムを設計した。実験の結果、このシステムはローリング角の調整パラメータを直感的に示すことができ、ユーザーの組み立て調整を支援し、光場型時格子センサーの元の誤差を±1.3 μmまで低減でき、簡単な構成と統合の容易さの利点を備えている。

关键词

時格子;光格子;組み立て誤差;ローリング角

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