摘要
光ファイバーのコリメーション用非球面マイクロレンズアレイの加工精度および加工効率を向上させるため、非球面マイクロレンズアレイ金型の加工精度制御および面形誤差補償の方法と理論について詳細に研究した。非球面マイクロレンズアレイの設計に基づく光学的幾何構造の特徴により、局所的な螺旋状ダイヤモンドミーリング法を提案し、リン化ニッケル合金の金型材料を加工した。金型材料およびガラス材料の高温特性および加工条件に起因する面形誤差の問題に対して、非球面マイクロレンズアレイ金型補償法を提案した。金型輪郭補償設計により転写成形精度を向上させ、光学性能を高め、10×10の非球面マイクロレンズアレイの高精度製造を実現した。実験結果は、非球面マイクロレンズアレイの面形誤差PVが220〜380 nmに制御され、表面粗さRaが7〜10 nmに達することを示した。この方法は、非球面マイクロレンズアレイの高精度かつ高効率な大量製造のための有効な技術的手段を提供する。
关键词
超精密加工; 螺旋状ダイヤモンドミーリング; 非球面マイクロレンズアレイ; ガラス成形; 面形誤差
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