二重光コームに基づく精密遠心機動的半径外部基準測定

ZHOU Siyu ,  

MA Yuxuan ,  

HE Dong ,  

ZHANG Chunjing ,  

TANG Li ,  

LIU Xin ,  

WANG Shanshan ,  

WU Guanhao ,  

摘要

精密遠心機の動的半径を正確に測定するために、二重光コーム測距技術の高速、高精度、絶対測距の利点を活かし、円筒鏡と集光光路で構成される空間光学配置を組み合わせて、遠心機の動的半径外部基準測定システムを構築した。二重光コーム測距に基づく外部基準測定装置の構成と動作原理を紹介し、円筒鏡ターゲットの曲率半径誤差と調整誤差が動的半径測定精度に及ぼす影響を分析し、相補的な誤差修正方法を提案した。次に、実験システムを構築し、異なる加速度下での精密遠心機の動的半径をリアルタイムで測定し、静的測定精度と動的測定精度を評価した。最後に、測定誤差の原因を分析し、システムの最適化案を提案した。実験結果は、システムが0gから15gの加速度範囲内で動的半径の変化量を効果的に測定できることを示した。2kHzの高周波差にて20回の移動平均を行い、動的測定精度は0.56μmより優れており、最大動的半径は204.90μmであり、精密遠心機の動的半径の高速、高精度測定要求を満たし、遠心機の加速度較正精度向上に利用可能である。

关键词

絶対測距;精密遠心機;動的半径;外部基準;二重光コーム

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