薄肉部品の内面の高品質な超精密研磨を実現するために、磁気制御磁気流動弾性体（Magnetorheological Elastomer、MRE）研磨原理に基づく均一研磨方法を提案した。本方法は薄肉部品の外面に磁場をかけ、MREによる内面への圧力を精密に制御することで内面の均一な研磨を実現する。COMSOL Multiphysicsソフトを用いてMREの磁気-弾性連成数値シミュレーションを行い、部品表面の研磨圧力およびその分布を特定し、研磨領域の速度分布を取得し、Preston方程式に基づく研磨除去関数モデルを構築した。その後、モデルを離散的にサンプリングし、材料除去量ベクトルを導出し、非負最小二乗法を用いて研磨領域各点の滞留時間を算出した。最後に磁場強度0.32 Tの条件下で、磁気制御MRE研磨装置を使用し、60 mm×60 mm×1 mmの融解石英ガラス部品に対して78分間の研磨実験を行った。実験結果は、研磨領域の各滞留点の時間を制御することで、磁気制御領域の表面材料の平均除去深さが84.4 nm、除去深さの変動範囲が10.9％であり、表面の均一研磨を実現したことを示した。これにより、本手法が薄肉部品の内面均一研磨を実現する有効性が証明された。

超精密加工;均一研磨;薄肉部品;磁気流動弾性体;除去深さ;磁場