真空吸着固定はレンズに均等な力をかけ、表面の傷を減らすことができ、光学機械システムの加工および組み立て分野で広く用いられています。薄い平面レンズの面形に対する真空吸着の影響を研究するために、円周単純支持板変形理論および薄板理論に基づいて、レンズと治具間の異なる接触状態および異なる真空度がレンズの変形に及ぼす影響を分析しました。流体-構造連成モデルを構築し、異なる負圧条件下でのレンズの面形への影響を解析し、真空吸着によるレンズ面形制御方法の有効性を検証しました。最後に、吸着固定実験により、負圧前後のレンズの面形変化を解析しました。実験結果から、負圧吸着の前後で、レンズの吸着面の面形誤差は10μm以内から7μm以内に低減し、レンズと治具間の隙間は9μmから4μm以内に減少し、最小値は0.8μmでした。負圧吸着によりレンズの吸着面の面形は治具面形により近づき、真空吸着によるレンズ面形調整方法の有効性が確認されました。本論文で提案する、真空吸着固定によるレンズ面形の調整方法は、レンズの加工および組立精度を向上させ、レンズの初期面形誤差が光学機械システムに与える影響を効果的に低減できます。

真空吸着;平面レンズ;吸着孔式治具;固定変形;面形制御