偏向技術は、その測定システムが簡単で、ダイナミックレンジが広く、干渉に強いという特徴から、複雑な光学曲面の形状および欠陥検出において独自の利点を有しています。しかし、偏向測定は操作が複雑で、影響因子が多く、データ伝達のチェーンが長いため、工学的な実践での応用が大きく制限されています。そこで本論文では、偏向技術の動作原理と発展の経緯を紹介し、構造設計、システム較正、符号化と物体像の対応付け、積分再構成を含む主要な測定手順を列挙しました。測定精度に影響を与えるいくつかの重要な要因、すなわちカメラモデルの単純化、高さと傾きのあいまいさ、位置角度の測定不確定性、および積分再構成の未定性について分析しました。続いて、偏向技術の主要な応用場面と今後の発展傾向を示し、精密測定分野の研究者や大学院生が偏向測定法を習得し、測定精度向上の主要な道筋を明確に理解し、我が国の精密工学および先進製造分野の技術進歩と産業発展を促進することを支援します。

精密測定;偏向技術;光学曲面;誤差解析;欠陥検出