高勾配曲面光学部品の仮想軸磁気流動体研磨

FU Zhiwei ,  

ZHOU Tao ,  

ZHANG Guimei ,  

XIE Bingxian ,  

SU Xing ,  

HUANG Wen ,  

HAI Kuo ,  

摘要

従来の研磨ホイール上置き型磁気流動体研磨機が、高勾配曲面の光学部品加工時に抱える工藝上の制約を克服し、既存の仮想軸技術が小角度範囲にのみ適用可能という制限を解決するために、研磨ホイール下置き固定式機械軸と仮想軸の複合連動研磨技術を提案した。研磨ホイール下置き型磁気流動体研磨機の構造的特徴に基づき、Denavit-Hartenberg(DH)法を用いて機械軸と仮想軸の複合連動研磨の後処理モデルを構築し、幾何学的手法で理論的検証を行った。仮想軸凹球面スポットサンプリング実験および直径150mm、曲率半径150mmの溶融石英凹球面の均一研磨により後処理モデルの精度を検証した。最後に、直径170mm、曲率半径158mm、最大法線角32.54°の溶融石英凹球面に対して研磨修形を実施した。実験結果より、修形後の端部5mmのワーク面形状PV値が0.04λに収束し、RMS値が0.005λに収束することを確認した。提案した機械軸と仮想軸の複合連動研磨モデルは高い精度を有し、高精度・高勾配曲面光学部品の加工能力を効果的に向上させ、磁気流動体研磨技術の高勾配複雑曲面光学部品加工への適用に重要な参考となる。

关键词

磁気流動体研磨;高勾配曲面;仮想軸;下置き;後処理

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