二つの鏡面体の二つの作業面の形状および相対姿勢の同時測定を実現するために、二つの鏡面体共基準形位測定システムを構築し、システムの較正と共基準較正を完了するための二つの鏡面較正板を設計・製作した。まず、二つの鏡面較正板を用いて、二つの鏡面体共基準形位測定システムを構成する二つのサブシステムの深度較正および横方向較正を行い、絶対位相と深度、ピクセル座標と空間 X，Y 座標との関係を確立した。次に、空間制約関係を利用して共基準較正を行い、二つの鏡面較正板の製造誤差による較正精度の低下問題を回避し、二つの座標系下にある三次元点群を一つの基準座標系に変換した。最後に、構築した二つの鏡面体共基準形位測定システムを用いて、鏡面ステップと高精度の白鋼量塊に対して実験測定を行った。実験結果は、量塊の両表面間距離の平均誤差が 0.076 mm であり、提案した共基準較正法が二つの鏡面の全体三次元形状測定に有効であることを示した。しかし、サブシステムで測定した鏡面ステップの隣接する二面間の距離の最大絶対誤差は 0.032 mm であり、共基準較正の誤差がシステムの測定精度を低下させたことを示している。今後の研究では、共基準較正法を最適化し、二つの鏡面体共基準形位測定システムの精度向上を目指す。

位相偏折測定術;二つの鏡面体;共基準;鏡面形状