全視野外差干渉計の測定適用性を向上させ、寄生波や混頻が干渉計の測定結果に与える影響を低減し、高精度低ノイズの動的干渉測定を実現するために、双プリズムに基づく新しい干渉計構成を提案した。本システムは全視野外差動的干渉測定技術に適用可能であり、混頻が測定結果に与える影響を解決し、寄生波が測定結果に与える影響をさらに低減するとともに、光ファイバーから出射される理想的な光を参照面に代えて使用することで、参照面の不均一性が測定精度に与える影響を回避できる。干渉計の基本構成を説明し、測定原理を記述し、提案した双プリズム構造の寄生波をモデリング・シミュレーションし、混頻誤差を論証し、寄生波と混頻の実験検証を行った。実験結果は以下のとおりである：発散構造の寄生波は平行光構造の寄生波と比較して最大3.2倍異なり、この構成は混頻因子の影響を受けず、反射率3%の素子を測定した際の導入された面形測定誤差はタイマン構成より0.0155λ優れており、シミュレーション結果と一致している。双プリズムに基づく全視野外差干渉測定技術は測定適用性を向上させ、寄生波混頻が干渉計の低周波測定結果に与える影響を低減し、混頻の影響を抑制し、干渉計の測定精度をさらに向上させた。

干渉測定;双プリズム構成;全視野外差;寄生波;混頻