直接位相偏折測定システムにおける2つのディスプレイの屈折誤差補償

TIAN Xiuxiu ,  

NI Yubo ,  

MENG Zhaozong ,  

GAO Nan ,  

YANG Zeqing ,  

ZHANG Guofeng ,  

YIN Wei ,  

ZHAO Hongwei ,  

ZHANG Zonghua ,  

摘要

直接位相偏折システムにおいて、液晶ディスプレイ(LCD)および透明ディスプレイ(TD)の特殊な構造により、測定過程で光が屈折し、位相偏差が生じます。したがって、補償システム内のLCDおよびTDの屈折誤差を補正する方法が提案されました。本方法では、2つのディスプレイを単一の透明層構造としてモデル化し、光線追跡アルゴリズムを用いて測定過程における屈折誤差モデルを構築し、光の伝播経路を解析して位相偏差を解くために必要なパラメータを特定します。次に、多視点ステレオ視技術と最適化された信頼領域反射アルゴリズムを組み合わせて2つのディスプレイの屈折パラメータを校正し、システム内の幾何学的関係に基づき校正測定過程の屈折角を解析します。最後に、導出した式を用いてシステムの深度情報を補償し、ピクセル単位で位相偏差を修正して測定システムの精度を向上させます。実験結果は、本方法を用いて屈折誤差を補償した後、鏡面リング状段差間の最大絶対誤差が33μmから21μmに減少し、凹面反射鏡と平面鏡の組み合わせ鏡面を測定した際に、面形状の二乗平均平方根誤差が38.55μmから24.92μmに減少し、システムの全体測定精度が30%~40%向上できることを示しています。本方法は、2つのディスプレイの屈折誤差を効果的に低減し、システムの鏡面三次元形状測定精度を向上させました。

关键词

3次元測定;直接位相偏折測定法;液晶ディスプレイ;透明ディスプレイ;屈折誤差

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