摘要
拡張現実光学モジュールにおける多層回折光導波路レンズの積層組立の間隔精度制御要求に対して、中空ガラスマイクロビーズを用いた精密間隔制御方法を提案した。理論計算および光学シミュレーションにより、回折光導波路レンズが画像要件を満たすための許容間隔誤差を導き出した。次に、選別工程を設計し、独自に篩分装置を構築して特定の粒径分布を持つ中空ガラスマイクロビーズを取得し、超精密間隔基準物質として回折光導波路レンズの積層組立間隔の精密制御に用いた。最後に、自主開発の高精度回折光導波路レンズ積層システムを用いて、多層回折光導波路レンズの積層組立実験を完了した。実験結果は、選別後の中空ガラスマイクロビーズの形状が良好で粒径分布がより集中しており、平均粒径は38.36 μm、標準偏差は1.60 μmであることを示した。50組の回折光導波路レンズ積層サンプルの間隔誤差検証により、62％のサンプルが高品質な画像要件を満たし、98％のサンプルが基本的な画像要件を満たした。この精密間隔制御方法は、多層回折光導波路レンズ積層の間隔精度および誤差範囲を満たすことができ、良好な応用展望を有している。
关键词
回折光導波路レンズ;中空ガラスマイクロビーズ;積層組立;粒径精度;間隔誤差
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