小慣性動子の明確な後退運動を抑制し、高効率かつ安定した粘滑運動を実現するために、能動慣性補償に基づく新型圧電回転駆動器設計を提案した。能動慣性補償と駆動電圧のタイミング最適化により、動子の後退運動を抑制し、速度および運動の平滑性を向上させた。能動慣性補償法に基づき、駆動器の動作原理を解析した。駆動器構造の解析およびシミュレーションを行い、能動慣性補償の有無による効果比較により、能動慣性補償法の実現可能性を理論的に検証した。また、小慣性動子を駆動する実験システムを構築し、出力性能の一連の試験を行った。実験結果は、能動慣性補償により動子の後退角度を79.77％抑制できること、能動慣性補償に基づく圧電回転駆動器の最小分解能が1.12 μrad、最大回転速度が813.85 mrad/sであることを示した。この方法は、小慣性動子の効率的かつ安定した粘滑運動を実現でき、圧電回転駆動器の高性能出力を達成し、微細・ナノ操作など複雑な作業空間の超精密分野に大きな応用可能性を持つ。

能動慣性補償;粘滑運動;小慣性動子;後退抑制;回転駆動器