摘要
走査型電子顕微鏡などの装置のプローブビームを向上させるために、磁気浸漬式熱電子放出電子銃を設計し、電子銃のカソードから放出される電子を効果的に収集し、有効な放出ビームを増加させた。磁気浸漬熱電子放出電子銃の電子光学特性を理論的に分析し、単極シュ、双極シュの軸方向間隙、双極シュの径方向間隙の3つの構造の磁気レンズ性能をシミュレーションで比較した。双極シュの軸方向間隙構造を基にレンズを設計し、浸漬レンズの変化に伴うスポット、ビーム、角度ビーム密度、輝度などのパラメータをシミュレーションで分析した。実験プラットフォームに基づき、浸漬レンズの磁場分布と磁気浸漬式電子銃の有効放出ビームをテストした。実験結果は、浸漬レンズの磁場の実際の分布がシミュレーション値とほぼ一致し、同じ絞りサイズで磁気浸漬式電子銃の有効放出ビームが低加速電圧3.3 kVで44.97 nA、高加速電圧23.5 kVで638.12 nAとなり、従来の熱電子放出電子銃と比べて約4倍の向上を示した。
关键词
電子光学; 熱電子放出電子銃; 磁気浸漬レンズ; 双極シュレンズ
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