細束径除去関数がその特徴寸法に近い空間波長の面形誤差を補正する能力を向上させるために、ミリメートル級束径イオンビーム加工の収束率解析および最適化研究を行い、多周波帯の面形「貝殻模様」加工度に基づく修形能力解析方法を提案した。平方根平均密度の周波数領域分布特性と各周波数帯の収束率、異周期面形振幅の加工結果を解析し、細束径除去関数の周波数帯間誤差補正能力を定量的に評価した。これに基づき加工補償戦略を分析し、周波数領域フィルタリングに基づく滞留時間補償による収束率最適化向上手法を提案し、修正可能な周波数帯の収束率を向上させ、シミュレーションおよび実験により検証した。実験結果は、「貝殻模様」の加工手法により除去関数の多周波数帯面形誤差修正能力の高効率な解析が可能であり、滞留時間補償手法が細束径除去関数の修正可能帯域内の単一サイクル収束率を効果的に向上させることを示した。2 mm半幅除去関数の収束能力が転換する重要周波数帯（0.186~0.385 mm ^-1）において、実際の平均収束率は76.4%から91.7%に向上した。本手法は単一束径除去関数加工時の全周波数帯誤差一貫性収束の実現に寄与し、高精度光学素子加工への適用が可能である。

超精密加工;イオンビーム修形;滞留時間;収束率;細束径除去関数;修形能力