高品質なホログラフィックグレーティングを製作し、振幅分割露光システムのフリンジ安定性を向上させるため、異なるビームスプリッタのフリンジ安定性への影響を分析し、ホログラフィックグレーティングの干渉フリンジ位相ロックシステムを設計・実現した。干渉露光の原理およびフリンジドリフトが露光コントラストに与える影響に基づき、異なる分光装置使用時の光源の指向特性要求を分析し、基準グレーティングのモアレフリンジに基づく干渉フリンジ変化検出法を提案した。適切な検出器とアクチュエータを選択し、STM32マイコンとPID制御アルゴリズムを組み合わせたフリンジ位相閉ループロックシステムを設計した。実験結果は、このロックシステムが1 kHzの制御周波数を達成し、主に0〜3 Hzの低周波ドリフトを良好に抑制し、ロック後のフリンジドリフトのRMS値は<inline-formula><alternatives><math xmlns:mml="http://www.w3.org/1998/Math/MathML" id="M1"><mn mathvariant="normal">0.004</mn><mtext> </mtext><mn mathvariant="normal">7</mn><mi>λ</mi></math><graphic specific-use="big" xmlns:xlink="http://www.w3.org/1999/xlink" xlink:href="alternativeImage/FA216E32-63CF-4c8d-AAD6-BFAB0B72292A-M001.jpg"?></graphic><graphic specific-use="small" xmlns:xlink="http://www.w3.org/1999/xlink" xlink:href="alternativeImage/FA216E32-63CF-4c8d-AAD6-BFAB0B72292A-M001c.jpg"?></graphic></alternatives></inline-formula>であった。光源の指向安定性が悪い場合、露光システムではグレーティング分光と単一点の位相ロック方式の組み合わせにより、大型グレーティング製造の干渉フリンジ安定性要件を満たすことができる。

ホログラフィックグレーティング;位相ロック;モアレフリンジ;閉ループ制御