ファブリ・ペロー標準器のレンズ面形誤差を確定的に制御するために、本論文ではレンズ面形誤差と標準器の性能との関係を詳細に研究した。面形誤差が標準器の透過スペクトルに与える影響の理論モデルを構築し、面形誤差が主要な性能指標に与える影響を定量的に分析して、工程および面形制御パラメータを最適化した。研究により、面形誤差の平均値と標準器透過スペクトルピークの中心波長には良好な線形関係があり、中心波長偏位の感度係数は1.65 pm/nmであることを理論的に導出した。面形誤差のピーク・バレー値は標準器透過スペクトルの帯域幅拡大およびピークトランスミッション減衰に影響を与え、ピーク・バレー値がλ/40（15.8 nm）未満の場合、帯域幅とピークトランスミッションは漸近的に収束する。理論モデルの検証のためにピコメートル精度の標準器透過スペクトル測定実験系を構築し、通光開口の定性的検証と面形誤差測定の定量解析により、中心部レンズの面形均一性が標準器性能に対しエッジ部よりも影響が大きいことを明らかにした。性能指標を満たす面形誤差の制御閾値を設定し、これに基づいて標準器開発実験を行った。実験結果は、中心部ピーク・バレー値を10 nm以内に制御した場合、直径30 mmの標準器のピークトランスミッションは98.63%に達し、中心波長532.199 nmにおいて帯域幅32.8 pmの狭帯域フィルタリングを実現し、理論設計限界に近づくことを示した。本稿の結論は、高透過率、狭帯域幅、中心波長ピコメートルレベルの安定性を持つ高精度標準器の製造加工に重要な応用価値を有する。

面形誤差;標準器;ピーク・バレー値;ファブリ・ペロー