ファブリ-ペロー標準具のレンズ加工プロセスにおける面形誤差を決定論的に制御するために、本論文ではレンズ面形誤差とファブリ-ペロー標準具性能の関係を詳細に研究した。面形誤差が標準具の透過スペクトルに及ぼす影響を理論モデルとして確立し、面形誤差が標準具の主要性能指標に与える影響を定量的に分析し、工程および面形制御パラメータを最適化した。研究の結果、面形誤差の平均値と標準具の透過スペクトルピークの中心波長には良好な線形関係があり、中心波長のシフト感度係数は理論的に1.65 pm/nmと導出された。面形誤差のピーク・バレー値は標準具の透過スペクトルの帯域幅の拡大とピークトランスミッションの減衰に影響を与え、ピーク・バレー値がλ/40（15.8 nm）未満の場合、帯域幅とピークトランスミッションは漸近的に収束した。理論モデルを検証するためにピコメートル級精度の標準具透過スペクトル試験システムを構築し、光学口径による定性的検証と面形誤差試験の定量分析を通じて、中心部の面形均一性が端部よりも標準具性能に与える影響が大きいことを明確化し、性能指標を満たす面形誤差制御閾値を設定し、それに基づく標準具開発実験を行った。実験結果は、中心部のピーク・バレー値を10 nm以内に制御した場合、直径30 mmの標準具のピークトランスミッションが98.63%に達し、中心波長532.199 nmにおいて32.8 pmの狭帯域フィルタリングを実現し、理論設計限界に近づいたことを示した。本論文の結論は、高透過率、狭帯域幅、ピコメートル級の中心波長安定性を持つ高精度標準具の製造加工に重要な応用価値がある。

面形誤差;標準具;ピーク・バレー値;ファブリ-ペロー