数字三色回折干渉によるデジタル干渉計は干渉に対して抵抗があり固体の変位に対して無感だが、高温の自発放射光の干渉に影響を受け、変位の勾配しか測定できず、直接的に三次元変形情報を得ることができません。これを解決するために、三色デジタル回折干渉法による三次元変形の測定手法を提案し、高温環境での高温環境でのオブジェクトの自発放射光の干渉を抑制し、安定した三つの独立したナローバンドのフィルタリングを達成します。複合台形積分法を使用して、変位フィールドを再構築し、オブジェクトの三次元変形情報を得ます。その結果、この方法の最小検出変位は30 nmであり、高温環境でオブジェクトの三次元変形情報を効果的に取得し、高温の自発放射光を抑制して、三次元変形の測定を実現できます。

digital shearography;deformation measurement;thermal radiation interference;composite trapezoidal integration