摘要
三色デジタルシアースペックル干渉は妨害に強く剛体変位に鈍感ですが、高温下では自発放射光の干渉を受け、変位勾配のみ測定でき、三次元変形情報を直接得ることはできません。この問題に対し、三色三孔デジタルシアースペックル干渉測定法を提案し、高温環境下での三次元変形測定を実現します。設計した三色三孔絞り構造を用いて三つのチャンネルで独立した狭帯域フィルタリングを行い、高温環境下の物体の自発放射光干渉を抑制します。複合梯形積分法を用いて変位場を再構成し、測定対象物体の三次元変形情報を得ます。結果は、本方法の最小検出変位が30nmであり、高温下での物体の三次元変形情報を効果的に取得でき、高温自発放射光を抑制して三次元変形測定を実現できることを示しています。
关键词
デジタルシアースペックル干渉; 変形測定; 熱放射干渉; 複合梯形積分
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