摘要
予め予圧力及びスピンドル回転数対硫化亜鉛材料の除去深度（Material Removal Depth, MRD）および材料除去率（Material Removal Rate, MRR）へ及ぼす影響の規律を明らかにし、試験データを組み合わせて修正除去函数の適用の正確性を検証する。最後に、修正された除去函数および最適化されたポリッシュ工程パラメータを基に硫化亜鉛平面ウルトラサウンドサポートおよび非ウルトラサウンドサポートポリッシュ対比実験を行い、白光干渉計および輪郭計を使用してポリッシュ前後の表面形状の精度および表面粗さを定量分析した。結果は、ロボットウルトラサウンドサポートの下で、材料表面形状精度PV値および表面粗さS_aは非ウルトラサウンドサポートロボットのポリッシュよりも低い。ウルトラサウンドサポートの影響下で、表面粗さS_a値は2.632 nmから1.782 nmに減少し、表面形状精度PV値は0.206λ（波長は632.8）から0.149λに低下した。ロボットウルトラサウンドサポートポリッシュ技術は非ウルトラサウンドサポートポリッシュ効果がさらに優れており、ウルトラサウンド振動とポリッシュトラックの相互作用により硫化亜鉛の高品質加工を実現できます。
关键词
ロボットポリッシュ; 超音波サポートポリッシュ; 硫化亜鉛; 除去函数; 表面品質