単一圧電変形ミラーの作動中に鏡面に発生する振動を抑制するために、入力成形に基づく単一圧電変形ミラー振動抑制方法を提案した。単一圧電変形ミラーの構造を解析し、その動的モデルを構築した。ソフトウェアシミュレーションにより、入力成形器が単一圧電変形ミラーの階段応答曲線における変位オーバーシュートおよび調整時間に与える影響を分析し、実験プラットフォームを構築して検証した。最後に、変形ミラーの再構成焦点面形状のシミュレーションを通じて、変形技術が実際の変形ミラー制御における振動抑制効果を分析した。実験結果から、5kHzの制御周波数で入力成形器を使用した後、単一圧電変形ミラーの変位オーバーシュートは32.1％からほぼ0に低減し、調整時間は4.30msから0.57msに短縮された。さらに、変形ミラー再構成シミュレーション過程でオーバーシュートは34％から1％以下に低減し、調整時間は3.95msから0.58msに短縮され、変形ミラーの制御速度と精度が向上した。設計された入力成形器は単一圧電変形ミラーの振動を効果的に抑制できる。

単一圧電変形ミラー;入力成形;振動抑制;適応光学システム