単一の圧電変形ミラーの振動を抑制するために、入力整形に基づく単一の圧電変形ミラーの振動抑制方法が提案されています。単一の圧電変形ミラーの構造を分析し、ダイナミクスモデルを構築しました。ソフトウェアシミュレーションを使用して、入力整形器が単一の圧電変形ミラーのステップ応答曲線のオーバーシュート量と調整時間に与える影響を分析し、実験プラットフォームを構築して検証しました。最後に、ミラーの再構築フォーカス面形状に対する整形技術の振動抑制効果を分析しました。実験結果によると、制御周波数5 kHzで入力整形器を使用すると、単一の圧電変形ミラーのオーバーシュート量が32.1%からほぼ0に低下し、調整時間が4.30 msから0.57 msに短縮されました。さらに、ミラーの再構築シミュレーション中のオーバーシュート量が34%から1%未満に低下し、調整時間が3.95 msから0.58 msに短縮され、ミラーの制御速度と精度が向上しました。設計された入力整形器は、単一の圧電変形ミラーの振動を効果的に抑制することができます。

単一の圧電変形ミラー; 入力整形; 振動抑制; 適応光学システム