複雑な曲面の高精度測定を実現するために、位相測定偏向術に基づく縞反射法測定システムを構築し、カメラ、ディスプレイ、および被測定物から構成される測定システムの構造設計、システム較正および検出アルゴリズムを研究した。被測定物のサイズおよび面形特性に基づいて良質なディスプレイとカメラを選定し、それぞれ較正を行った。高精度関節アーム測定機を用いて三者の空間位置関係を特定し、コンピュータ支援最適化及びCODEVシミュレーション解析法を組み合わせてシステムを較正した。最後に、積分再構成アルゴリズムを利用して複雑な曲面の高精度検出を実現した。実験結果は、この測定システムがLUPHOScanおよびZYGO&CGHと同等の測定精度を実現し、波面RMSの測定精度がλ/50より優れていることを示した。この測定システムは構造が簡単で、ダイナミックレンジが広く、耐干渉性に優れており、複雑な曲面測定の効率と精度を向上させた。測定精度の要求を満たし、該当部品の加工及び組立を保証することで装置性能の向上に寄与する。

光学測定;複雑曲面;縞反射;位相測定偏向術;積分再構成