付加製造に基づく炭化ケイ素両面反射鏡の設計と信頼性検証

WANG Chengbin ,  

SUN Shengli ,  

SUN Xiaojin ,  

MA Xiaohao ,  

HU Kai ,  

摘要

同軸四反射光学システムにおいて、主鏡および四鏡で構成されたΦ516 mmの両面共有体反射鏡の軽量化と高剛性の設計目標を達成するために、従来の軽量化設計に基づき、多パラメータ最適化と炭化ケイ素の付加製造技術を融合した方法を提案した。エンジニアリング経験に基づき反射鏡の初期モデルを構築し、主要構造寸法を選択して多パラメータ最適化モデルを確立し、多目的遺伝的アルゴリズムに基づき構造パラメータの最適化を行った。最適化後の反射鏡質量は6.8 kgで、初期案に対し32.6%の削減となった。最後に、炭化ケイ素両面反射鏡の3Dプリントおよび構造モード試験を完了し、一次周波数は1964 Hzであった。両鏡面の光学加工後、重力影響試験、真空高低温試験および振動試験を実施した。結果は試験前後の反射鏡面形状精度の最大変化が0.001λ(λ=632 nm)であることを示した。炭化ケイ素両面反射鏡の構造設計および付加製造技術は良好な信頼性と安定性を有している。

关键词

付加製造; 炭化ケイ素; 両面反射鏡; 軽量化; 信頼性検証

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