微細ナノ座標測定機の円度測定における信頼性を検証し、主要な不確かさの原因を正確に特定するために、測定不確かさおよび各誤差成分が評価結果に与える影響を定量的に分析する包括的な評価方法を構築した。まず、国家標準GB/T 7235-2004で定義された最小二乗法、最大内接円法、最小外接円法および最小領域法の4つの円心計算方法に基づき、GUM-MCM円度測定不確かさ評価方法を提案した。次に、ランダムフォレスト回帰モデルを導入し、不確かさ誤差源（繰り返し性、温度変化、クロストーク力、測定球摩耗）と円度誤差との回帰モデルを構築し、ランダムフォレストの袋外誤差増分、特徴削除誤差増分および安定性重みの3つの指標により各誤差源が円度誤差に与える影響を体系的に分析した。最終的な実験結果は、4つの方法で得られた円度の最良推定値がそれぞれ0.629、0.221、0.616および0.608 μmであり、標準不確かさはそれぞれ0.099、0.138、0.103および0.094 μmであったことを示した。その中で、最小領域法の不確かさが最も低かった。ランダムフォレスト分析は、測定球摩耗による誤差成分が最小二乗法、最小外接円法および最小領域法の3つの方法で最も顕著な影響を及ぼし、それぞれの総合得点は0.74、4.50および0.53であったことを示した。本研究は、GUM-MCM法とランダムフォレスト回帰モデルの融合により、微細ナノ座標測定機の円度測定の信頼性を効果的に検証しただけでなく、各不確かさ源の寄与度を定量的に解析したものであり、超精密加工測定の精度と信頼性向上に重要な工学的価値を持つ。

微細ナノ座標測定機;円心計算;円度;不確かさ評価;ランダムフォレスト