従来のレーザー共焦点顕微鏡は高コストであり、従来のマシンビジョン手法は穴底の不均一照明、画像のぼやけ、特徴抽出の困難さに制限されているため、同軸光源照明に基づくマシンビジョン自動測定システムを開発した。本システムは工業用カメラ、同軸光源を備えた遠心レンズ、三軸精密移動ステージで構成されており、ハイブリッドのフォーカスおよび特徴認識アルゴリズムをコア測定戦略として採用している。実験結果は、システムが安定かつ信頼性高く動作し、優れた性能を示すことを示した。深さと径比が異なる7種類のサンプル（3.17～7.87）を測定し、孔径の測定再現性は0.56～4.58μm、深さの測定再現性は最小0.80μm、変動係数は最低0.09％であった。測定平均値と公称値の偏差は一般に1％未満であった。本システムは大きな深さ径比を持つ微細孔の幾何パラメータの効率的かつ高精度な測定を実現し、精密加工における微細構造の品質管理に低コストな技術ソリューションを提供する。

微細孔測定;深径比;自動焦点;Tenengrad勾配関数;大津法