従来のレーザー共焦点顕微鏡は高コストであり、従来の機械視覚手法は孔底照明の不均一や画像のぼやけ、特徴抽出の困難さなどの問題に制限されているため、同軸光源照明に基づく機械視覚自動測定システムを開発した。本システムは産業用カメラ、同軸光源を備えたテレセントリックレンズ、および三軸精密移動ステージで構成され、混合フォーカスと特徴認識アルゴリズムを中核測定戦略として採用している。実験結果は、システムが安定かつ信頼性高く動作し、性能が優れていることを示した。異なる7種類の深さ対径比（3.17～7.87）のサンプルを測定したところ、開口径測定の再現性は0.56～4.58 μm、深さ測定の再現性は最小で0.80 μm、変動係数は最低で0.09％に達し、測定平均値と公称値の偏差は概ね1％未満であった。本システムは大きな深さ対径比を持つ微細孔の幾何学的パラメータの効率的かつ高精度な測定を実現し、精密製造における微細構造の品質管理のための低コストな技術ソリューションを提供する。

微細孔測定;深さ対径比;自動焦点;Tenengrad勾配関数;大津法